1.半導體廢氣簡述（shù）

隨著信（xìn）息化（huà）時代的到來，半導體行業也在迅速發展，半導體廠給社會帶來的經（jīng）濟效益及就業率有目共睹的，但隨之而來的還有對大氣的汙染。在半導體生產中使用的清洗劑、顯影劑（jì）、光刻膠、蝕（shí）刻液等溶（róng）劑中含有大量有機物成分，在製造工藝過（guò）程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放（fàng）。其（qí）廢氣的主（zhǔ）要成分是VOCs，同時（shí）廢氣中還混合了HCl、氨、HF等汙染物，此（cǐ）類汙染物排入大氣會造成環境汙染，同時也會對工廠周（zhōu）圍居民身體健康造成影響。因（yīn）此，必（bì）須對（duì）半導（dǎo）體廢氣進行淨化處理後達到排放要求。

2.半導體廢氣處理方法

半導體廢氣有酸（suān）性廢（fèi）氣、VOCs有機廢（fèi）氣。半導體酸廢氣處理通常采用堿液體噴淋法，又（yòu）稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好（hǎo）地捕捉沉降，溶（róng）解去除汙染（rǎn）物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治（zhì）理普遍采用的主要處理方法。VOCs有機廢氣處理常見主要有活性炭吸附法（fǎ）、燃燒法、UV光解淨化法等，下麵国产精品一区二区尿失禁環保小編詳細介紹半導體廢氣處理方法。

（1）活性（xìng）炭吸附法

活（huó）性炭吸附法主要（yào）原理就是利用多孔固（gù）體吸附劑（活（huó）性碳、矽膠（jiāo）、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力（lì）或者是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附（fù）劑的表（biǎo）麵，從而（ér）達到淨（jìng）化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘（zhān）性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到95%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和（hé）以後需要更換新的活（huó）性炭，更換活性炭需要費用，替（tì）換下（xià）來的飽和以後的活性炭也是需要（yào）找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在（zài）高溫及空氣（qì）充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有（yǒu）機（jī）廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催（cuī）化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將（jiāng）VOCs廢氣作（zuò）為燃（rán）料進行燃燒，燃（rán）燒溫度一般控製在1100℃，處理效（xiào）率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度（dù）較（jiào）低，需要借助其他燃料或助（zhù）燃氣體，熱力燃燒所需（xū）的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理（lǐ）效（xiào）率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的（de）廢氣直接外排會導致二次汙染。

通（tōng）過（guò）熱力燃（rán）燒（shāo）或者催化燃（rán）燒法處理有機廢氣，其淨化率（lǜ）是比較高的，但是其投（tóu）資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需（xū）要多套且需要很大的占地麵積。熱力燃（rán）燒比較（jiào）適合24小時連（lián）續不斷（duàn）運行且濃度較（jiào）高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性（xìng）的生（shēng）產產線（xiàn）工況。催化燃燒（shāo）的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效（xiào）率（lǜ）也相（xiàng）對較低一些；但貴金屬（shǔ）催（cuī）化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同（tóng）時對廢氣（qì）進氣條件的控（kòng）製（zhì）非常嚴格，否則會造成催化燃（rán）燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨（jìng）化（huà）法

UV光解淨化法利用（yòng）高（gāo）能（néng）UV紫外線光束分解空氣中的（de）氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜（xié）帶正負電子不（bú）平衡（héng）所以需與氧分子結合，進而產生臭（chòu）氧，臭氧具有很強的（de）氧（yǎng）化性，通（tōng）過臭氧對有機廢氣、惡臭（chòu）氣體進行協同光（guāng）解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物（wù）、CO2和H2O。

UV光（guāng）解法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物（wù）質的淨（jìng）化處理（lǐ）；產品性能穩（wěn）定，運行穩（wěn）定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設（shè）備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定（dìng）期檢查。UV光解法因采用光解原理（lǐ），模塊采（cǎi）取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性（xìng）能安全穩定，特別適用於（yú）化工、製藥等防爆要求高的行（háng）業。

以上關於半導體廢氣處理方法介紹，希望可（kě）以幫（bāng）到您，其實對於半導體廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收（shōu）集等方麵進行設計。如果您有半導體廢氣需要（yào）淨化處理，可以（yǐ）隨時撥（bō）打400-808-2272 電（diàn）話（huà），谘詢国产精品一区二区尿失禁環保,為您提供半導體廢氣（qì）處理方案及設備（bèi）。