1.集成電路（lù）製造行業廢氣簡述

集成電路製造行業廢氣主要成分是揮發（fā）性有機物VOCs。集成電路芯片生產過程中使用大量的有機溶劑（jì）如清洗劑（jì）、光刻膠、剝離液、稀釋液等，從而產生一定量的VOCs廢氣，不僅造成大氣汙染，還可能會導致廠區環境異味，因此（cǐ）進（jìn）行VOCs廢氣治理，實（shí）現達標（biāo）排放。

1.1集成電路製造行業VOCs主要（yào）來源

集成電路（lù）製造行業VOCs來源主（zhǔ）要集中在揮發（fā）性有機溶劑的（de）使用、載運、儲存。載運（yùn）過程包括有機溶劑的原料載入及廢（fèi）有機（jī）溶劑的載出過程，溶劑儲罐與（yǔ）槽車之（zhī）間的接口等處有機溶（róng）劑揮發。有機溶劑的儲存主要包括儲罐（guàn）儲（chǔ）存，化學品桶裝（zhuāng）儲存及瓶裝（zhuāng）儲存。有（yǒu）機溶劑儲罐的（de）排氣、儲存過（guò）程中的不密封或意外泄露也是VOCs的來源。

1.2集成電路行業VOCs主要成分

集成電路行業（yè）有機（jī）廢氣VOC的主要成分（fèn）為異丙醇和丙酮，此兩項物質占比達VOCs主要成分80%-100 %，其中異丙（bǐng）醇占比55%以上，丙酮占比5%-34%。

2.集（jí）成電路行業VOCs廢氣處理方（fāng）法

集成電（diàn）路行業廢氣主要成分（fèn）VOCs廢氣，目前對於VOCs廢（fèi）氣處理方法主（zhǔ）要有活性炭吸附法、低溫等離子法、燃燒法、UV光解（jiě）法。

（1）活性炭吸附法（fǎ）

吸附法主要原（yuán）理就是利用多孔固體吸附劑（活（huó）性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者（zhě）是分子引力充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目（mù）的。吸附法目前（qián）主要應用於大（dà）風量、低濃度（≤800mg/m³）、無顆（kē）粒（lì）物、無粘性物（wù）、常溫的低（dī）濃度有機廢氣淨化處理。

活性（xìng）炭（tàn）淨化率高（活性（xìng）炭吸附可達到95%以上），實用（yòng）遍及，操縱簡單，投資低（dī）。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要（yào）費用，替換（huàn）下來的飽和以後的活性炭也是需要（yào）找（zhǎo）專業人員進（jìn）行危廢處理，運行費用高。

（2）低溫等離子法

低溫等（děng）離子法（fǎ）利用（yòng）等離子體內部（bù）產生（shēng）富含極高化學活性的特點，使用高壓放電裝置在放電時產生高能電子和離子，將空氣中的氧分子進行分離，氧分子吸收（shōu）能量後產生遊離態的（de）氧（yǎng）離子，有（yǒu）機廢氣汙染物與遊（yóu）離氧基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到淨化廢氣的目的。

此種方法具有適用範圍廣，淨化效率高，設備占地麵積小特點，適用（yòng）於其他方法較難處理的有機（jī）廢氣體；但由於采（cǎi）用高壓放電裝置，在含水、含塵、有機廢氣濃度較高的密閉空間易發生（shēng）爆炸，存在安（ān）全隱患，因而限製了其使用。

（3）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣充（chōng）足的條件（jiàn）下進（jìn）行完（wán）全燃燒（shāo），分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類（lèi）有機廢氣，可（kě）以分為直接燃燒（shāo）、熱力燃（rán）燒（shāo）和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣（qì）作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％-99％。

熱力（lì）燃燒法（fǎ）適合（hé）於處理濃度（dù）在1000-5000 mg/m³ 的（de）廢氣，采用（yòng）熱力燃燒法，廢氣（qì）中VOCs濃（nóng）度較低，需要借助其他燃（rán）料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低（dī），大約為540-820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若（ruò）含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催（cuī）化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要（yào）多套（tào）且需（xū）要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷（duàn）運（yùn）行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的（de）投資和運營費用相對（duì）熱力燃燒較低，但淨化效率也相（xiàng）對較低一些；但貴金屬催化（huà）劑容易因為廢氣中的雜質（如硫（liú）化物）等造成中毒失效，而（ér）更換催（cuī）化（huà）劑（jì）的費用很高；同時對廢氣進氣條件的（de）控製非常嚴格（gé），否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（4）UV光解淨（jìng）化法

UV光解淨化法利用高（gāo）能UV紫外線光束分（fèn）解空（kōng）氣中的氧分子產生遊離（lí）氧（即活性氧），因遊離氧所攜（xié）帶正（zhèng）負電子不（bú）平衡所以需與（yǔ）氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強（qiáng）的氧化性，通（tōng）過臭氧對有機廢氣、惡臭（chòu）氣（qì）體進行協同（tóng）光解氧化作用，使有機廢氣（qì）、惡臭氣體物質降解轉（zhuǎn）化成低分（fèn）子化合（hé）物、CO2和（hé）H2O。

UV光解法具有高效處理效率，可達（dá）到95%以上；適應性強，可（kě）適應中低濃度，大氣量，不同有機廢（fèi）氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品（pǐn）性（xìng）能穩定，運行穩定可靠，每天（tiān）可24小時連續工作；運行（háng）成本低（dī）本，設備耗能低，無（wú）需專人管理與維護，隻需作定（dìng）期（qī）檢查。UV光解法因（yīn）采用光解原理（lǐ），模塊采取隔爆處理，消除了安全（quán）隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設（shè）備（bèi）性能安全穩定，特別適用於采油（yóu）(氣)田、石油（yóu）化工、製藥（yào）等防爆要求高的（de）行業。

以上關於集成電路製（zhì）造行業廢氣處理方法以及（jí）工藝介（jiè）紹，希望可以幫到您，其實對於集成電（diàn）路製造行（háng）業廢氣處理，一般是需要根據廢氣的（de）濃度、產生（shēng）量、廢氣（qì）成分、如何收集等方麵進行設計。如果您有集成電路製（zhì）造行業廢氣處理需要淨化處理，可以隨時撥打（dǎ）400-808-2272 電話，谘詢国产精品一区二区尿失禁環保,為您（nín）提（tí）供集成電路製（zhì）造廢氣處理方案及設備。