1.集（jí）成（chéng）電路廢氣簡述

集成電（diàn）路是把特定電路所需的各種電子組件及線路，縮小並製作（zuò）在極小麵積上的一種（zhǒng）電子產品。集成電路芯片製造主要以晶圓為基本材（cái）料，其生產工藝過程包括矽片清（qīng）洗、矽（guī）片氧化、擴（kuò）散、化學氣相沉積、離子植入、金屬化、光刻、蝕刻（kè）以及化學機械研磨等，這些工序反複交叉，包括檢（jiǎn）測和測試在內實（shí）際達到300左右的工藝步數。但是在這些工藝過程中產生（shēng）酸（suān）性氣體、堿性（xìng）氣體、有機廢氣等汙染物，此類汙染物如果（guǒ）不經過淨化處理而排放（fàng）會對環境（jìng）和（hé）人身（shēn）體健康產（chǎn）生危害，為了（le）減少大氣（qì）汙染、淨化空氣達標排放，因此，需要對集（jí）成電（diàn）路廢氣進行淨化（huà）處理後達標排放。

2.集成電路廢氣處理方法

集成電（diàn）路在（zài）製造生產（chǎn）過程產（chǎn）生（shēng）酸性氣體、堿性（xìng）氣體、有機廢氣等汙染（rǎn）物。對於酸性氣體處理采用堿液噴淋洗滌法，堿性氣體處理采（cǎi）用酸液噴淋洗滌法，而對於有機廢氣處理方法有很多種（zhǒng），常見主（zhǔ）要有（yǒu）活性炭吸附（fù）法、燃燒（shāo）法、UV光解淨化法，下麵国产精品一区二区尿失禁環保小編詳細介紹集成（chéng）電（diàn）路廢氣處（chù）理方法。

2.1 酸性、堿性氣體處理（lǐ）方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行（háng）處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理（lǐ），以10%的硫酸溶液為吸（xī）收液。酸性、堿性廢氣洗滌淨化（huà）法，在酸（suān）堿性氣體處理中應用相當普遍（biàn），具有運（yùn）行（háng）穩定，處理效果好，投資少，處理費用低等優點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法（fǎ）

活（huó）性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、矽膠（jiāo）、分子篩等）來（lái）處理有機廢氣，這（zhè）樣就能（néng）夠通過化學（xué）鍵力或（huò）者是分子引力充（chōng）分（fèn）吸附有害成分，並且將其吸附在吸（xī）附劑的表麵，從而達到淨化有（yǒu）機廢氣（qì）的目的。吸附法目（mù）前（qián）主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨（jìng）化處（chù）理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要更（gèng）換新的活性（xìng）炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人員進行危廢處（chù）理，運行（háng）費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫（wēn）及空氣充足的（de）條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃（rán）燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用（yòng）直接燃（rán）燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在（zài）1100℃，處理效率（lǜ）高，可（kě）以達到95％一99％。

熱力燃燒法適（shì）合於處理濃（nóng）度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力（lì）燃燒法，廢氣中VOCs濃度較（jiào）低，需要借助（zhù）其他燃料或助燃氣體，熱力燃（rán）燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃（rán）燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元（yuán）素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃（rán）燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且（qiě）分散，很難實現（xiàn）集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連（lián）續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣（qì）工況，不適合間斷性的生產產線（xiàn）工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬催（cuī）化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高（gāo）；同時對（duì）廢（fèi）氣進（jìn）氣條（tiáo）件的控製非常嚴格，否（fǒu）則（zé）會（huì）造成催化燃燒室（shì）堵塞而引（yǐn）起安全（quán）事故。

（3）UV光解淨化法（fǎ）

UV光（guāng）解淨化法利（lì）用高（gāo）能UV紫外線光束分解空氣（qì）中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所（suǒ）以需與氧分子結合，進（jìn）而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對（duì）有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧（yǎng）化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉（zhuǎn）化成低分子（zǐ）化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強（qiáng），可適應中低濃度，大（dà）氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理（lǐ）；產（chǎn）品性能穩定，運行（háng）穩定可靠，每（měi）天可（kě）24小時連續工作；運行（háng）成本（běn）低（dī），設備耗能低，無需專人（rén）管理與維護，隻需作定期檢（jiǎn）查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔（gé）爆處理，消除（chú）了安全（quán）隱患，防火、防爆、防腐（fǔ）蝕性能高，設備性能安全穩（wěn）定。

以上關於集成電路廢氣處理方法介紹，希望可以（yǐ）幫到您，其實對於集成電路廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有集成電路廢氣需要淨化（huà）處理，可以隨時撥打（dǎ）400 808 2272電話，谘詢国产精品一区二区尿失禁環保,為您提供集成電路廢氣處理方案及設備。